Compressor de ar isento de óleo para laboratórios de semicondutores

Para estabelecer linhas de serviços públicos confiáveis ​​para instalações de pesquisa de precisão, obtenha fornecedores de compressores de ar isentos de óleo da China para laboratórios de semicondutores. As soluções de ar de alta pureza da DECHUAN utilizam vedações de isolamento de carbono multicamadas para eliminar vestígios de hidrocarbonetos, garantindo qualidade de gás cristalina para gravação crítica de silício.

Requisitos Críticos de Pureza de Gás para Salas Limpas

Na fabricação de semicondutores e na litografia de película fina, até mesmo uma única gota microscópica de vapor de óleo transportada pela linha de ar pode arruinar um lote inteiro de produção. Este produto especializado foi projetado para atender aos mais altos padrões de pureza:

• Fornecimento de ar Classe 0 certificado pela TÜV: Nossos sistemas passam por testes rigorosos em temperaturas operacionais variáveis. A análise independente confirma absolutamente zero vestígios de óleo no fluxo de ar de saída.

• Caminhos de ar internos livres de corrosão: Cada peça da tubulação, conjunto de resfriadores e matriz de separação a jusante da câmara de compressão é feita de aço inoxidável de alta qualidade para evitar que flocos de ferrugem contaminem as linhas de ar da sala limpa.

• Integração Elektronikon® avançada: O controlador integrado monitora de perto as métricas operacionais e apresenta desligamentos de segurança proativos para garantir que nenhum ar impuro entre na rede do laboratório.

O alto custo da microcontaminação em eletrônicos

Na fabricação de wafers semicondutores, uma única gota de aerossol de óleo pode contaminar todo um ambiente de sala limpa, arruinando milhares de wafers de silício e causando milhões de perdas de tempo de produção. Os compressores de ar tradicionais não podem garantir a pureza absoluta de zero hidrocarbonetos necessária para esses processos em escala nanométrica.

O compressor de ar isento de óleo especializado para laboratórios de semicondutores garante pura segurança do processo:

• Fluxo de ar CLASSE 0 certificado: Testado rigorosamente pela TÜV em faixas térmicas e de pressão extremas para garantir presença de óleo absolutamente zero.

• Partes internas livres de partículas: Pré-resfriadores de aço inoxidável e trocadores de calor com aletas em estrela eliminam flocos de oxidação ou derramamento de produtos químicos no caminho do ar.

• Escudo de monitoramento eletrônico: alarmes de manutenção proativos e desligamentos automáticos por falha evitam desvios do sistema antes que eles cheguem às suas ferramentas de sala limpa.

Parâmetros Técnicos de Pureza

• Potência do sistema: configurações de alta densidade de 55 kW a 900 kW.

• Taxa de entrega volumétrica: 4,2 - 148,5 m³/min de saída de fluxo limpo.

• Classificação do teor de óleo: ISO 8573-1 Classe 0, validação totalmente isenta de óleo.

• Layout de resfriamento: resfriamento de fluido em aço inoxidável evitando a liberação de gases químicos.

As condições de referência de desempenho para a unidade foram medidas de acordo com o Anexo C, 4ª edição (2009) da ISO 1217:

· Umidade relativa: 0%

· Pressão absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C A taxa de descarga (FAD) foi medida nas seguintes pressões operacionais:

Tipo de velocidade constante:

·  -7,5 bar tipo: 7 bar

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10 barras: 9 barras

Tipo VSD:

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10,4 barras: 9 barras

· (2) Nível de pressão sonora de emissão ponderada classe A do posto de trabalho (LpWSAd). Medido de acordo com ISO 2151:2004 (usando o método de varredura de intensidade sonora 150 9614/2). O fator de correção recém-adicionado é um valor completamente incerto (KpAd), em conformidade com o código de teste.

· (3) O peso é apenas para referência; o peso real fornecido prevalecerá.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

De acordo com a ISO 1217 Anexo C, 4ª Edição (2009), as condições de referência de desempenho da unidade são as seguintes:

· Umidade relativa: 0%

· Pressão absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C

O deslocamento FAD é medido nas seguintes pressões operacionais:

Modelos de velocidade constante:

-Modelos de 7,5 bar: 7 bar

-Modelos de 8,6 bar: 7 bar

-Modelos de 10 barras: 9 barras

Modelos VSD:

-Modelos de 8,6 bar: 7 bar

-Modelos de 10,4 bar: 9 bar

(2) Nível de pressão sonora de emissão ponderada classe A do posto de trabalho (LpWSAd). Medido de acordo com ISO 2151:2004 (método de varredura de intensidade sonora ISO 9614/2). O fator de correção recém-adicionado KpAd é incerto, em conformidade com o código de teste.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) O peso é apenas para referência; o peso real prevalecerá.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Umidade relativa: 0%

-Pressão absoluta de entrada: 1bar

-Temperatura de entrada: 20°℃

A taxa de descarga (FAD) foi medida nas seguintes pressões operacionais

Tipo de velocidade constante:

-7,5 bar tipo: 7 bar

-8,6 barra tipo: 7 barra

-Tipo de 10 barras: 9 barras

Tipo VSD:

-8,6 barra tipo: 7 barra

-10,4 tipo de barra: 9 barra

(2) Nível de pressão sonora de emissão ponderada classe A do posto de trabalho (LpWSAd).

Medido de acordo com ISO 2151:2004 (usando 150 9614/2 (método de varredura de intensidade sonora).

O fator de correção recém-adicionado é um valor completamente incerto (KpAd), em conformidade com o código de teste.

(3) O peso é apenas para referência; o peso real fornecido prevalecerá.

ZR 300-750

As condições de referência de desempenho para a unidade foram medidas de acordo com o Anexo C, 4ª edição (2009) da ISO 1217:

· Umidade relativa: 0%

· Pressão absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C A taxa de descarga (FAD) foi medida nas seguintes pressões operacionais:

Tipo de velocidade constante:

·  -7,5 bar tipo: 7 bar

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10 barras: 9 barras

Tipo VSD:

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10,4 barras: 9 barras

· (2) Nível de pressão sonora de emissão ponderada classe A do posto de trabalho (LpWSAd). Medido de acordo com ISO 2151:2004 (usando o método de varredura de intensidade sonora 150 9614/2). O fator de correção recém-adicionado é um valor completamente incerto (KpAd), em conformidade com o código de teste.

· (3) O peso é apenas para referência; o peso real fornecido prevalecerá.

ZR 200X-400X

As condições de referência de desempenho para a unidade foram medidas de acordo com o Anexo C, 4ª edição (2009) da ISO 1217:

· Umidade relativa: 0%

· Pressão absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C A taxa de descarga (FAD) foi medida nas seguintes pressões operacionais:

Tipo de velocidade constante:

·  -7,5 bar tipo: 7 bar

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10 barras: 9 barras

Tipo VSD:

· Tipo de -8,6 barras: 7 barras

· Tipo de -10,4 barras: 9 barras

· (2) Nível de pressão sonora de emissão ponderada classe A do posto de trabalho (LpWSAd). Medido de acordo com ISO 2151:2004 (usando o método de varredura de intensidade sonora 150 9614/2). O fator de correção recém-adicionado é um valor completamente incerto (KpAd), em conformidade com o código de teste.

· (3) O peso é apenas para referência; o peso real fornecido prevalecerá.

Estudo de caso de usuário de laboratório de sala limpa

Um fabricante de eletrônicos na Ásia instalou o sistema de ar especializado da DECHUAN para fornecer circuitos de geração de nitrogênio de alta pureza e braços de teste pneumáticos. Anteriormente, os compressores padrão permitiam que vapores de óleo migrassem através dos filtros em linha, revestindo lentes de litografia e causando microfraturas em revestimentos de wafer. Depois de instalar o compressor de ar isento de óleo para laboratórios de semicondutores, o laboratório relatou zero incidentes de contaminação de linha relacionados a óleo, economizando custos substanciais de limpeza e recalibração de salas limpas ao longo de dois anos de operação contínua.

Adaptação e controle de componentes personalizados

• Atualização do material de aço inoxidável: Substituímos todos os componentes fundidos internos padrão por aço inoxidável de alta qualidade para atender às rígidas diretrizes de microcontaminação.

• Protocolos de comunicação avançados: A unidade é pré-carregada com protocolos de comunicação especializados, permitindo que os centros de controle de salas limpas monitorem remotamente as métricas do ar.

• Pegada estrutural compacta: O layout interno é otimizado para minimizar a área ocupada, facilitando a instalação em espaços utilitários apertados no subsolo do laboratório.

Perguntas frequentes sobre compradores industriais

P: Podemos conectar este compressor diretamente a circuitos de filtração de ultra-alta pureza (UHP)?

R: Sim, nossa saída de ar é totalmente compatível com secadores dessecantes avançados para salas limpas e sistemas de filtragem de partículas submicrométricas. Como o ar bruto não contém vapor de óleo, os filtros especializados no ponto de uso não ficarão obstruídos com névoa de óleo, prolongando a vida útil do filtro.

P: Como as vedações tipo Z garantem migração zero de óleo do conjunto de engrenagens?

R: O compressor de ar isento de óleo para laboratórios de semicondutores apresenta um espaço físico de ventilação atmosférica entre a caixa de engrenagens lubrificada a óleo e a câmara de compressão seca. As vedações de anel de carbono sem contato especializadas são combinadas com canais de pressão negativa, garantindo que qualquer névoa de óleo de engrenagem seja completamente impedida de entrar no fluxo de ar limpo.

P: O que acontece se um sensor de temperatura interno detectar uma leitura anormal?

R: O controlador Elektronikon® coleta amostras de dados vitais várias vezes por segundo. Se um pico de temperatura for detectado em qualquer estágio, o sistema aciona instantaneamente um desligamento automático e fecha as válvulas de isolamento, garantindo que o ar não resfriado nunca flua para o equipamento sensível do seu laboratório.